# this file is part of refractiveindex.info database
# refractiveindex.info database is in the public domain
# copyright and related rights waived via CC0 1.0

REFERENCES: |
    T. Siefke, K. Gerold, S. Shestaeva, P. Paul, S. Alam, D. Franta, A. Szeghalmi, S. Schröder, S. Kroker.
    Atomic layer deposition for hafnium oxide-based meta-optics in the ultraviolet spectral range.
    <a href="https://doi.org/10.1051/jeos/2026036"><i>J. Eur. Opt. Society-Rapid Publ.</i> <b>22</b>, 33 (2026)</a>
    (Numerical data kindly provided by Thomas Siefke)
COMMENTS: |
     HfO<sub>2</sub> thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD)
CONDITIONS:
    film_thickness: 220e-9
    substrate: SiO2
DATA:
  - type: tabulated nk
    data: |
        0.1239842 2.39940 1.23641
        0.1244821 2.39567 1.20408
        0.1249841 2.39150 1.17296
        0.1254901 2.38233 1.14697
        0.1260002 2.37316 1.12097
        0.1265145 2.36399 1.09626
        0.1270330 2.35324 1.07172
        0.1275558 2.34160 1.04885
        0.1280828 2.32996 1.03102
        0.1286143 2.31832 1.01303
        0.1291502 2.30653 0.99395
        0.1296906 2.29474 0.97487
        0.1302355 2.28294 0.96153
        0.1307850 2.27052 0.94886
        0.1313392 2.25751 0.93592
        0.1318981 2.24449 0.92259
        0.1324617 2.23147 0.91124
        0.1330302 2.21994 0.90287
        0.1336037 2.20843 0.89451
        0.1341820 2.19691 0.88962
        0.1347654 2.18539 0.88498
        0.1353539 2.17439 0.88044
        0.1359476 2.16543 0.87670
        0.1365465 2.15647 0.87670
        0.1371507 2.14751 0.87670
        0.1377602 2.13854 0.87814
        0.1383752 2.12958 0.88178
        0.1389957 2.12062 0.88542
        0.1396218 2.11166 0.89026
        0.1402536 2.10710 0.89541
        0.1408911 2.10357 0.90057
        0.1415345 2.10004 0.90577
        0.1421837 2.09652 0.91127
        0.1428389 2.09575 0.91780
        0.1435002 2.09575 0.92433
        0.1441677 2.09653 0.93181
        0.1448413 2.10343 0.93950
        0.1455214 2.11032 0.94790
        0.1462078 2.11722 0.95652
        0.1469007 2.12512 0.96477
        0.1476002 2.13421 0.97150
        0.1483065 2.14331 0.97824
        0.1490195 2.15326 0.98111
        0.1497394 2.16763 0.98334
        0.1504663 2.18199 0.98394
        0.1512002 2.19636 0.98394
        0.1519414 2.21100 0.98348
        0.1526899 2.22601 0.98184
        0.1534458 2.24102 0.98020
        0.1542092 2.25602 0.97951
        0.1549802 2.27010 0.98030
        0.1557590 2.28228 0.97841
        0.1565457 2.29605 0.97216
        0.1573403 2.31069 0.96600
        0.1581431 2.32533 0.96070
        0.1589541 2.33996 0.95540
        0.1597734 2.35325 0.94880
        0.1606013 2.36614 0.94174
        0.1614378 2.37903 0.93641
        0.1622830 2.39343 0.93282
        0.1631371 2.41324 0.92893
        0.1640003 2.43305 0.92494
        0.1648726 2.45287 0.91773
        0.1657543 2.47268 0.90956
        0.1666454 2.49709 0.90066
        0.1675462 2.52364 0.89137
        0.1684568 2.55019 0.87369
        0.1693773 2.57674 0.85258
        0.1703080 2.60217 0.82735
        0.1712489 2.61847 0.80071
        0.1722003 2.63476 0.77160
        0.1731623 2.65035 0.73837
        0.1741351 2.66012 0.70433
        0.1751189 2.66989 0.66951
        0.1761139 2.67777 0.63270
        0.1771203 2.68233 0.59810
        0.1781382 2.68689 0.56861
        0.1791679 2.68861 0.53909
        0.1802096 2.68192 0.50946
        0.1812634 2.67524 0.48268
        0.1823297 2.66856 0.45924
        0.1834086 2.66188 0.43620
        0.1845003 2.65599 0.41382
        0.1856051 2.65080 0.39083
        0.1867232 2.64561 0.36717
        0.1878548 2.64042 0.34225
        0.1890003 2.63523 0.31652
        0.1901598 2.63004 0.29113
        0.1913336 2.62485 0.26757
        0.1925220 2.61374 0.24400
        0.1937253 2.59768 0.22065
        0.1949437 2.58162 0.19760
        0.1961775 2.56556 0.17454
        0.1974271 2.54950 0.15349
        0.1986926 2.53344 0.13802
        0.1999745 2.51738 0.12255
        0.2012730 2.50132 0.10792
        0.2025886 2.48526 0.09453
        0.2039214 2.46921 0.08113
        0.2052718 2.45315 0.07079
        0.2066403 2.43719 0.06176
        0.2080272 2.42305 0.05381
        0.2094328 2.40890 0.04728
        0.2108575 2.39476 0.04075
        0.2123017 2.38061 0.03422
        0.2137658 2.36647 0.02945
        0.2152503 2.35233 0.02511
        0.2167556 2.33818 0.02076
        0.2182820 2.32404 0.01641
        0.2198301 2.30989 0.01206
        0.2214003 2.29575 0.00772
        0.2229932 2.28160 0.00337
        0.2246090 2.26867 0
        0.2262485 2.25967 0
        0.2279121 2.25066 0
        0.2296004 2.24165 0
        0.2313138 2.23264 0
        0.2330530 2.22363 0
        0.2348185 2.21462 0
        0.2366111 2.20561 0
        0.2384311 2.19660 0
        0.2402794 2.18759 0
        0.2421566 2.17858 0
        0.2440634 2.16957 0
        0.2460004 2.16056 0
        0.2479684 2.15240 0
        0.2499681 2.14637 0
        0.2520004 2.14034 0
        0.2540660 2.13432 0
        0.2561657 2.12829 0
        0.2583004 2.12227 0
        0.2604710 2.11624 0
        0.2626784 2.11021 0
        0.2649235 2.10419 0
        0.2672073 2.09816 0
        0.2695309 2.09213 0
        0.2718952 2.08611 0
        0.2743013 2.08042 0
        0.2767504 2.07575 0
        0.2792437 2.07108 0
        0.2817823 2.06641 0
        0.2843674 2.06174 0
        0.2870004 2.05707 0
        0.2896827 2.05240 0
        0.2924155 2.04773 0
        0.2952005 2.04306 0
        0.2980389 2.03839 0
        0.3009325 2.03372 0
        0.3038828 2.02905 0
        0.3068916 2.02439 0
        0.3099605 2.01986 0
        0.3130914 2.01721 0
        0.3162862 2.01456 0
        0.3195469 2.01191 0
        0.3228755 2.00925 0
        0.3262742 2.00660 0
        0.3297452 2.00395 0
        0.3332908 2.00130 0
        0.3369136 1.99864 0
        0.3406159 1.99599 0
        0.3444005 1.99334 0
        0.3482702 1.99069 0
        0.3522278 1.98796 0
        0.3562764 1.98490 0
        0.3604192 1.98184 0
        0.3646594 1.97878 0
        0.3690006 1.97571 0
        0.3734464 1.97265 0
        0.3780006 1.96959 0
        0.3826673 1.96653 0
        0.3874506 1.96347 0
        0.3923550 1.96041 0
        0.3973852 1.95734 0
        0.4025461 1.95428 0
        0.4078427 1.95122 0
        0.4132806 1.94816 0
        0.4188655 1.94613 0
        0.4246034 1.94437 0
        0.4305007 1.94261 0
        0.4365641 1.94085 0
        0.4428007 1.93910 0
        0.4492181 1.93734 0
        0.4558242 1.93558 0
        0.4626276 1.93383 0
        0.4696371 1.93207 0
        0.4768623 1.93031 0
        0.4843133 1.92855 0
        0.4920008 1.92680 0
        0.4999363 1.92504 0
        0.5081319 1.92328 0
        0.5166008 1.92153 0
        0.5253567 1.91993 0
        0.5344146 1.91846 0
        0.5437903 1.91700 0
        0.5535009 1.91553 0
        0.5635645 1.91407 0
        0.5740009 1.91261 0
        0.5848311 1.91114 0
        0.5960779 1.90968 0
        0.6077657 1.90821 0
        0.6199210 1.90675 0